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资料名称：	SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范
文档名称：	喷雾式涂覆设备通用规范
英文名称：	General Specification for Spray Coating Equipment
发布部门：	中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：	2016-01-15
起草单位：	沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究
文件类型：	PDF
整理时间：	2019-01-19
软件简介：	标准主要内容包括喷雾式涂覆设备的术语和定义、技术要求（外观、安全、保护与报警功能、自动化功能、喷嘴、盒站、主轴转速、承片台等性能，胶膜厚度及均匀性）、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
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