JIS C5630-6-2011 マイクロマシン及びＭＥＭＳ－第６部：薄膜材料の軸荷重疲労試験方法.rar
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JIS标准
整理时间：
2020-11-04
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JIS C5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法 JIS C5630-6-2011,,Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 6:Axial fatigue testing methods of thin film materials JIS C5630-6-2011 マイクロマシン及びＭＥＭＳ－第６部：薄膜材料の軸荷重疲労試験方法
