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您当前的位置：首页 > 行业标准 > 建筑材料行业标准 资料名称： T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟 文件类型： PDF文档 文件大小： 294.75 KB 资料归类： 综合团体标准 整理时间： 2024-09-09 软件简介： 本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。 下载地址： [百度网盘下载 ] 发表评论 共有条评论 用户名: 密码: 验证码: 匿名发表

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